策无遗算网

策无遗算网

全部分类休闲

天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

天准科技发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

开启国产半导体高端检测设备新时代

中国苏州2024年7月15日 /美通社/ -- 近日,天准图形天准科技(股票代码:688003.SH)参股的科技苏州矽行半导体技术有限公司(下文简称"矽行半导体")宣布,公司面向40nm技术节点的发布明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证,标志着国产半导体高端检测设备实现了新的国内突破。

这是首台设备继去年8月,天准科技正式交付面向12英寸晶圆65~90nm技术节点的明场宽波段明场缺陷检测设备TB1000不到一年后,再次取得的纳米阶段性新进展。

高精度明场缺陷检测设备的晶圆检测重要性

从整片晶圆到单颗芯片,除了需要耳熟能详的缺陷光刻机外,还需要扩散炉、天准图形刻蚀机、科技离子注入机、发布薄膜沉积设备、国内化学机械抛光机和清洗机等一系列必备生产型设备。首台设备

而缺陷检测设备作为保证芯片质量、明场降低生产成本,推进工艺迭代的重要工具,在芯片生产流程中不可或缺。特别是随着工艺制程不断演进,制造芯片的成本越来越高,检测设备的重要性与日俱增。其中,拥有更高检测精度、更全缺陷类型覆盖率的明场缺陷检测设备备受行业青睐。


作为国产半导体设备厂商的代表,成立于2021年11月的矽行半导体,汇聚了来自国内外知名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才,专注于高端晶圆缺陷检测设备及零部件的研发、生产和销售,努力填补国产缺陷检测设备市场的空白。依托卓越的技术团队和先进的技术实力,逐步打破了KLA等外商对缺陷检测市场的垄断,为国内半导体产业的发展注入了新的活力。

TB1500是矽行半导体最新的研发成果,核心关键部件全部实现自主可控,同时采用了先进的信号处理算法,有效提高信噪比和检测灵敏度。为了满足40nm技术节点的工艺制程需求,TB1500提升了光源亮度和感度,增大了物镜视野和速度,能够捕捉更小缺陷尺寸。


天准科技半导体设备深布局,助推国产半导体行业突破

此外,天准科技在半导体设备领域持续发力。全资子公司MueTec研发的面向12英寸40nm技术节点的DaVinci G5设备,经过大量的晶圆实测数据验证,表现优异。与前两代产品相比,该设备提升了重复性、吞吐量和高深宽比套刻标记识别能力,将在满足大规模生产的需求下,使复杂芯片图案的套刻精度检测成为可能,极大地提高制造效率。


天准科技致力打造卓越视觉装备平台企业,通过自主研发、海外并购德国MueTec和战略投资成立矽行公司等多种途径,强化在半导体检测设备领域的布局。据悉,矽行半导体面向28nm技术节点的TB2000设备当前进展顺利,各核心零部件均已完成开发,计划于2024年底发布样机。

随着人工智能、大数据等技术的融合与发展,半导体检测设备将趋向更高精度、更高效率和更高智能化的方向演进。未来,天准科技将凭借其技术创新和战略布局,继续推动技术和产品升级,力争在半导体领域成为一流的半导体量测与检测设备公司,助力国产半导体行业突破。


友情链接: 国防部举行信息支援部队成立专题新闻发布会连云港再通报鬼秤事件:5人被行拘,市场方罚款35万元外交部:美方抛所谓“产能过剩论”包藏的是遏制打压中国产业发展的祸心富轩再掷千万,品牌广告强势上线,为终端门店广泛引流泉州市深入开展“我为群众办实事”实践活动新加坡航空一波音客机紧急迫降曼谷机场,致1死30伤泉州亚新足球队昨日出征中乙联赛“让个人流量变城市热度”,菏泽为网红郭有才连夜铺路善择ESG风险跟踪第33期|百度APP数字人直播低俗互动引争议富轩再掷千万,品牌广告强势上线,为终端门店广泛引流信息透明才能放心消费 深圳市消委会巧用消费投诉公示走出社会监督新路径更多更严标准测试下 这11款儿童鞋品质领跑卓宝仿石一体板|开启你的绿色节能新生活!国家大基金二期再投半导体 一二期可撬动社会资本超万亿元一店一策精准帮带 辽宁丹东助企创建“放心肉菜示范超市”国家防总针对粤桂赣启动防汛四级应急响应江苏开展6•18网络商品和服务集中促销专项监测工作皇氏工匠庆贺第38届春季佛山陶博会暨第三届美缝展圆满收官!国家防总针对粤桂赣启动防汛四级应急响应东北“三省一区”交通运输执法协作试点示范工作在沈启动“失足早、形式新、数额高”:来自46例年轻干部贪腐样本的观察像风筝一样拖着线的无人机,无人能干扰丨军事“复活”冷冻的人类大脑丨科创要闻教育部:高校应根据经济社会发展需求等提前谋划增设专业13款儿童自行车大比拼 好孩子、迪卡侬、孩子王获5星评价中国银行成立养老金融中心19款儿童运动头盔不达标 涉及超级飞侠、飞鸽等品牌富轩再掷千万,品牌广告强势上线,为终端门店广泛引流外交部:美方抛所谓“产能过剩论”包藏的是遏制打压中国产业发展的祸心湖北开展眼镜制配场所计量专项监督检查和“回头看”美洲今年2637人死于登革热,中国已有本土病例一季度实际使用外资3016.7亿元 商务运行总体平稳、结构优化泉州将投入580多万元对仁风片区污水管道进行改造东北“三省一区”交通运输执法协作试点示范工作在沈启动像风筝一样拖着线的无人机,无人能干扰丨军事国防部举行信息支援部队成立专题新闻发布会教育部:高校应根据经济社会发展需求等提前谋划增设专业大连警方通报救护车和小车碰撞事故皇氏工匠庆贺第38届春季佛山陶博会暨第三届美缝展圆满收官!国家防总针对粤桂赣启动防汛四级应急响应

外链: